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자료유형 : 국내서단행본
서명 / 저자 : 반도체 소자 공정기술 / Michael Quirk, Julian Serda [공]지음 ; 최성재 옮김
원서명 : Semiconductor manufacturing technology
개인저자 : Quirk, Michael
최성재
Serda, Julian
발행사항 : 서울 : 청문각, 2011
형태사항 : 806 p. ; 30 cm.
ISBN : 9788973389773
청구기호 : 621.38152 큐67반

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